회사/산업 · SK하이닉스 / 공정기술

Q. DRAM 공정에서의 HKMG, Poly Gate

FFinfet

현재 DRAM Peri쪽 공정에서 HKMG공정은 표준으로 알고있는데요. 궁금한것은 Cell 영역을 제외한 Core,Peri 영역에서 HKMG, 정통 Poly-si Gate 를 혼용해서 쓰는건가요? 아니면 전체가 다 HKMG 구조인가요?? 감사합니다.


2025.09.23

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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